Procédé électrochimique sélectif pour la création de nanomotifs et de micromotifs semi-conducteurs

Aperçu

Cette invention relève du domaine des semi-conducteurs. Elle permet la formation par voie électrochimique de motifs gravés de haute résolution dans des substrats sur des surfaces retravaillées, sensibilisées avant traitement. Le potentiel de polarisation la dose et la profondeur d'arrêt, la durée d'exposition et la géométrie de l'implant sont des paramètres qui influent fortement sur la définition de la structure et déterminent les conditions du polissage électrolytique. Comparativement à ses prédécesseurs, ce procédé se caractérise par sa grande simplicité, car il ne nécessite que l'implantation et une étape électrochimique.

Transfert de technologie

Cette technologie pourrait être exploitée sous licence. On pourrait aussi la perfectionner en vue d'applications précises ou s'en servir pour effectuer la démonstration du produit final dans le cadre d'une collaboration en recherche. Prière de mentionner le numéro d'identification 19023 du CNRC en faisant référence à cette possibilité d'affaires.

Applications commerciales

Cette technologie présente un intérêt particulier pour les dispositifs électroluminescents et les capteurs. Elle pourrait servir de base (même partielle) à un procédé qui débouchera sur des applications d'optoélectronique à ultra haute résolution.

Fonctionnement

On crée un semi-conducteur poreux par gravure électrochimique. Certaines parties du semi-conducteur sont d'abord traitées pour en diminuer le potentiel seuil auquel se forment les pores. Ce traitement sélectif inclura de préférence l'implantation d'ions identiques à ceux du semi-conducteur. Le traitement entraîne la formation par gravure de motifs d'une très grande définition ou de motifs de matériau poreux, selon les conditions dans lesquelles il se déroule. La taille de la plus petite structure créée ne dépend que des dimensions du faisceau d'ions ou, lorsque l'implantation se fait par faisceau large, du masque employé pour n'exposer que les parties que l'on souhaite rendre poreuses.

Avantages

  • Conditionnement économique
  • Méthode d'une grande fiabilité
  • Impact réduit sur l'environnement
  • Possibilité de fabriquer un affichage électroluminescent en couleur
  • Réduction éventuelle de la taille du dispositif

Brevets

Dossier 19023 du CNRC

Renseignements

Roderick Paterson, Conseiller de portefeuille
Téléphone : 613-991-9047
Courriel : Roderick.Paterson@nrc-cnrc.gc.ca

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