Lithographie par nanoimpression

La lithographie par nanoimpression combine les petites dimensions critiques de la lithographie par faisceaux d'électrons et le rendement élevé de la technologie pas à pas optique, offrant une solution rentable à la lithographie haute définition. Dans le cas des clients ayant leur propre appareil de lithographie par nanoimpression, le CCFDP offre un service de fabrication de moules. L'expertise du CCFDP en fabrication de plaquettes, ainsi que son appareil de lithographie par nanoimpression « step and flash », lui permet de fabriquer des plaquettes spécialisées pour ses clients à l'aide du procédé d'impression. Le CCFDP est la seule organisation au monde offrant la combinaison d'un service de fabrication de moules à l'interne à l'aide de lithographie optique et par faisceaux d'électrons, et d'un service complet de fabrication de plaquettes axé sur la fabrication de dispositifs.

Service de fabrication de moules

Les services de lithographie par faisceaux d'électrons et de fabrication du CCFDP permettent de produire des moules pour la lithographie par nanoimpression spécialisée et entièrement vérifiée ayant des dimensions critiques de moins de 60 nanomètres. Le CCFDP peut fabriquer des moules pour différentes méthodes de lithographie par nanoimpression, incluant la méthode « step and flash », l'impression en relief à chaud et la nanoimpression par UV. Le CCFDP vérifie les moules qu'il produit par SEM, AFM et d'autres méthodes métrologiques, pour s'assurer qu'ils sont entièrement conformes aux spécifications du client.

Lithographie par nanoimpression « step and flash »

Le CCFDP a choisi d'utiliser la lithographie par nanoimpression « step and flash » pour pouvoir offrir des services de lithographie à des dimensions inférieures à 60 nm. Cette méthode de lithographie par nanoimpression offre la combinaison optimale de résolution, de rendement et de souplesse avec les outils de lithographie existants, ce qui permet de simplifier l'intégration de nanostructures dans les dispositifs photoniques et électroniques perfectionnés.