Services de fonderie

Grâce à leurs nombreuses années d'expérience industrielle et aux installations à la fine pointe de la technologie, les experts du CCFDP peuvent offrir des services de fabrication pour produire des prototypes et de petites à moyennes quantités de dispositifs photoniques, à partir de semi-conducteurs III-V ou de silicium. Les employés du CCFDP maîtrisent les technologies photoniques actuelles et les applications des produits, ainsi que les procédés de fabrication industriels courants. En faisant appel au CCFDP, les clients peuvent réduire leurs délais de développement et diminuer leurs coûts en n'ayant pas à gérer leurs propres installations de fabrication.

Le CCFDP offre une série complète de services rémunérés incluant la conception et modélisation, l'épitaxie, la fabrication, et les essais et caractérisation. La complexité des services varie des études de faisabilité, jusqu'aux produits fabriqués à guichet unique et aux solutions personnalisées complètes. Nous offrons aussi des services de lithographie par nanoimpression et d'experts-conseils.

Épitaxie

Le CCFDP utilise un réacteur à dépôt MOCVD ayant une capacité suffisante pour la fabrication de plaquettes de GaAs et d'InP. Le CCFDP est en mesure de produire une ou plusieurs plaquettes à la fois de GaAs et d'InP de 2, 3, 4 ou 6 pouces de diamètre pour répondre à différents besoins en dispositifs. Notre équipe de professionnels en fabrication a l'expertise nécessaire pour la croissance d'un grand éventail de structures épitaxiées faites sur mesure.

Le CCFDP reconnaît que le délai de commercialisation est d'une importance cruciale pour la réussite du client et s'efforce de réduire au minimum les délais de production de produits épitaxiés. Le CCFDP peut également assurer une excellente qualité et performance au moyen de mesures et contrôles de paramètres critiques pendant la production de plaquettes épitaxiées.

Plaquettes de GaAs et d'InP

Le CCFDP offre les services de croissance épitaxiale dans les systèmes de matériaux suivants :

• InP
• InGaAsP (avec le même paramètre de réseau que l'InP ou de GaAs)
• GaAs
• AlGaAs/GaAs - InAlAs/InP
• InGaAlAs/InP

Structures épitaxiées spécialisées

Une grande variété de structures de dispositifs actifs et passifs ont été fabriquées à l'aide des installations d'épitaxie et de traitement du CCFDP. Plusieurs de ces structures de dispositifs sont basées sur la capacité de recroissance de couches épitaxiées après l'exécution de certaines étapes de fabrication.

Ces structures comprennent :

• Les lasers Fabry-Pérot
• Les lasers à rétroaction répartie (DFB)
• Les lasers DFB à hétérostructure enfouie (BH)
• Les diodes électroluminescentes (DEL)
• Les lasers à cascade quantique (QCL)
• Les guides d'ondes optiques – en III-V et en Si
• Les réflecteurs à miroir Bragg multicouches
• Les miroirs à absorbeur saturable

Mesures spécialisées pour l'épitaxie

La liste suivante résume les services de métrologie offerts par le CCFDP pour appuyer sa série de services d'épitaxie :

• Contrôle du taux de croissance par réflectance in situ et pyrométrie optique
• Diffraction double de rayons X de cristaux (ponctuelle et cartographiée)
• Cartographie de photoluminescence (PL) et de réflectance (R)
• SurfscanMC (pour le comptage et la cartographie des défauts)
• Détermination des profils électrochimiques (Polaron)
• Effet Hall
• Inspection de surfaces Nomarski
• SEM, Auger, SIMS, TEM, AFM, STEM

Lithographie par nanoimpression

La lithographie par nanoimpression combine les petites dimensions critiques de la lithographie par faisceaux d'électrons et le rendement élevé de la technologie pas à pas optique, offrant une solution rentable à la lithographie haute définition. Dans le cas des clients ayant leur propre appareil de lithographie par nanoimpression, le CCFDP offre un service de fabrication de moules. L'expertise du CCFDP en fabrication de plaquettes, ainsi que son appareil de lithographie par nanoimpression « step and flash », lui permet de fabriquer des plaquettes spécialisées pour ses clients à l'aide du procédé d'impression. Le CCFDP est la seule organisation au monde offrant la combinaison d'un service de fabrication de moules à l'interne à l'aide de lithographie optique et par faisceaux d'électrons, et d'un service complet de fabrication de plaquettes axé sur la fabrication de dispositifs.

Service de fabrication de moules

Les services de lithographie par faisceaux d'électrons et de fabrication du CCFDP permettent de produire des moules pour la lithographie par nanoimpression spécialisée et entièrement vérifiée ayant des dimensions critiques de moins de 60 nanomètres. Le CCFDP peut fabriquer des moules pour différentes méthodes de lithographie par nanoimpression, incluant la méthode « step and flash », l'impression en relief à chaud et la nanoimpression par UV. Le CCFDP vérifie les moules qu'il produit par SEM, AFM et d'autres méthodes métrologiques, pour s'assurer qu'ils sont entièrement conformes aux spécifications du client.

Lithographie par nanoimpression « step and flash »

Le CCFDP a choisi d'utiliser la lithographie par nanoimpression « step and flash » pour pouvoir offrir des services de lithographie à des dimensions inférieures à 60 nm. Cette méthode de lithographie par nanoimpression offre la combinaison optimale de résolution, de rendement et de souplesse avec les outils de lithographie existants, ce qui permet de simplifier l'intégration de nanostructures dans les dispositifs photoniques et électroniques perfectionnés.