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Ellipsomètre spectroscopique à angle variable (ESAV) pour le visible et le proche infrarouge, avec un accessoire cryostat, J.A. Woollam Co. (ISM)
L’ellipsométrie spectroscopique à angle variable (ESAV) est une technique optique versatile qui permet la caractérisation des propriétés optiques (indice de réfraction complexe) et des épaisseurs de couches minces. La technique se base sur l’analyse des changements de polarisation d’un faisceau de lumière induit par sa réflexion sur la surface d’un échantillon. Cette analyse s’effectue sur plusieurs angles d’incidence et une gamme de longueurs d’onde de la lumière. L’ellipsométrie permet d’extraire des valeurs d’indices de réfraction complexes, lesquels donnent accès à des paramètres physiques intrinsèques et sont reliés à des propriétés telles que la morphologie, la cristallinité, la composition chimique, ou la conductivité électrique. Cette technique est couramment utilisée pour trouver avec précision les épaisseurs de couches simples ou multicouches, variant de quelques angströms à plusieurs microns.
Cet instrument ESAV (J.A. Woollam Co.) est pourvu d’un porte échantillon à micro-positionnement XY permettant la cartographie de la surface d’échantillons, et permet également des mesures sous un flot continu d’azote sur des échantillons sensibles à l’air ambiant. Il couvre une gamme de longueurs d’onde de 350 nm à 1700 nm, et des angles d’incidence entre 25° et 90° (angle rasant). Cet instrument peut être isolé de la lumière externe grâce à un système de stores horizontaux opaques, lesquels permettent des mesures de transmittance ou réflectance.
