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Jean Lapointe
Téléphone : 613-991-2613
Télécopieur : 613-990-0202
Courriel : Jean.Lapointe@nrc-cnrc.gc.ca
Recuit thermique rapide
Le recuit thermique rapide est utilisé pour former des contacts métalliques pour les semi-conducteurs et traiter thermiquement d’autres matériaux semi-conducteurs.
Trois appareils de recuit thermique rapide sont disponibles au centre de nanofabrication, un AG Associates 410, un Jipelec JetFirst et un Accutherm 610. Les trois appareils sont équipés d’un contrôle de thermocouple et de pyromètre permettant des températures de recuit entre 100 et 1100 °C. Des durées de recuit jusqu’à 15 minutes peuvent être utilisées, sauf aux températures élevées alors que des durées plus courtes sont nécessaires pour éviter les problèmes de surchauffe. Le AG Associates 410 peut accepter des plaquettes de 100 mm (4 pouces), alors que le Jipelec et le Accutherm 610 peuvent accepter des plaquettes de 150 mm (6 pouces). Des échantillons plus petits sont recuits en utilisant une plaquette comme porte-échantillon. Les gaz disponibles pour le recuit sont N2, O2 et le ‘Forming’ gaz (4 % H2 en N2) pour le AG Associates 410 et le Jipelec, et N2 et le ‘Forming’ gaz pour le Accutherm 610.
