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Courriel : Jean-Marc.Baribeau@nrc-cnrc.gc.ca
Système de diffraction des rayons X haute résolution Bruker D8 Discover
Le Bruker AXS D8 Discover est un diffractomètre de rayons X à haute résolution multi-fonction. Il intègre des innovations technologiques comme le miroir rayons X parabolique et la détection sensible à la position qui permettent une caractérisation rapide et précise des semi-conducteurs de pointe, des films minces et des matériaux nanostructurés. Les capacités d’imagerie comprennent la cartographie en espace réciproque et la cartographie bidimensionnelle des propriétés structurelles des gaufres semi-conductrices.
La fonction de diffraction à haute résolution (5, 12, ou 30 sec) permet la détermination de l’épaisseur, de l’orientation cristallographique et de la qualité des films minces, et en particulier des couches épitaxiales. La diffraction coplanaire haute résolution dans la géométrie symétrique ou asymétrique sert à déterminer la constante de réseau et la tension des films minces épitaxiaux. Une géométrie non-coplanaire est aussi accessible permettant des mesures de diffraction sur des plans perpendiculaires à la surface des gaufres. Cette géométrie est utile pour les mesures cristallographiques (structure et orientation) sur films épitaxiaux très minces (moins de 10 nm) ou l’identification de phase sur des films minces polycristallins. La cartographie en espace réciproque au moyen d’un analyseur à triple rebond haute résolution (12 sec), quant à elle renseigne sur l’état de contrainte et la mosaicité cristalline. Cet instrument peut aussi être utilisé pour la mesure de réflectométrie des rayons X à incidence rasante. Cette méthode permet la détermination de la rugosité de surface et de la densité et épaisseur des films minces.
Ce système est pourvu d’un porte-échantillon chauffant qui permet d’effectuer diverses mesures sous atmosphère contrôlée et ce jusqu'à des températures allant jusqu'à 900oC. Il comporte aussi un system vidéo-laser pour les mesures ciblées.
