Liens de la barre de menu commune
Information pertinente
Instituts et programmes
- Centre canadien de fabrication de dispositifs photoniques du CNRC
- Centre de technologie des transports de surface du CNRC
- Conseil national de recherches Canada
- Initiative en génomique et en santé du CNRC
- Institut de recherche aérospatiale du CNRC
- Institut de recherche en construction du CNRC
- Institut de technologie de l'information du CNRC
- Institut des sciences des microstructures du CNRC
- Institut du biodiagnostic du CNRC
- Institut national de nanotechnologie
- Portail du réseau d'imagerie du CNRC
Secteurs industriels clés
Domaines scientifiques
Communautés
Carrières
Actualités
Événements
Personne-ressource
Jean-Marc Baribeau
Téléphone : 613-993-8249
Télécopieur : 613-941-4667
Courriel : Jean-Marc.Baribeau@nrc-cnrc.gc.ca
Microscope électronique à émission de champ Hitachi S-4700
Le microscope électronique à balayage (MEB), permet d’obtenir des images de la surface d’un spécimen avec un grossissement pouvant facilement dépasser 100 000x. Dotée d’une profondeur de champ beaucoup plus grande que la microscopie optique, la MEB donne des images d’une clarté et d’une définition étincelantes, en faisant un outil de choix pour identifier les caractéristiques microscopiques de divers spécimens solides.
Le microscope électronique Hitachi S-4700 est un microscope électronique à balayage à émission de champ de type Schottky. Sa source, beaucoup plus petite et brillante que celle d’un canon thermoïonique, en augmente sa cohérence et minimise les aberrations conférant a cette instrument un pouvoir de résolution élevé de l’ordre de 2,5 nm (soit environ dix fois plus qu’avec un MEB conventionnel). L’inspection des matériaux par MEB à des résolutions allant bien au-delà de la microscopie optique s’effectue de façon régulière. Cette méthode est utile pour le contrôle et l’optimisation des procédés dans le Groupe de la nanofabrication et au CCFDP. L’institut possède trois FESEM de ce genre.
Le principe de fonctionnement du MEB peut se résumer ainsi. Lorsque le faisceau électronique énergétique frappe un échantillon solide, les interactions entre les atomes de ce dernier et les électrons du faisceau entraînent la production de différents types de signaux. Le signal d’émission électronique secondaire provient de l’éjection d’électrons de valence ou de bande de conduction sous l’impact des électrons du faisceau primaire et procure une information topographique. Lorsque les électrons du faisceau primaire interagissent avec les noyaux dans un spécimen, ils peuvent être reflétés à l’extérieur produisant le signal rétrodiffusé. Ces électrons rétrodiffusés ont une grande énergie – généralement voisine de l’énergie incidente. Une région d’un échantillon ayant un numéro atomique élevé (Z) causera davantage de rétrodiffusion que des régions environnantes constituées d’atomes légers. Cela est attribuable à la différence de dimension des noyaux respectifs.
À cause de la fréquence accrue des événements de rétrodiffusion dans le matériau Z élevé, ces régions montreront plus de brillance que les matériaux Z inférieurs – donnant ce que nous appelons le « contraste de numéro atomique » ou « contraste Z ». Par exemple, le signal rétrodiffusé est très utile pour trouver les différentes phases présentes dans les spécimens géologiques.
