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Sylvain Charbonneau
Téléphone : 613-998-9414
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Courriel : Sylvain.Charbonneau@nrc-cnrc.gc.ca
Fabrication de matériaux semiconducteurs
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- ICP-RIE - Oxford Instruments PlasmaLab 100
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- PECVD - Oxford Instruments PlasmaLab 100 & PlasmaTherm
- Dépositions de métaux : thermique, faisceau d'électrons et pulvérisation – e.g. Edwards Auto-306
- RTA – AG Associates 410, Jipelec JetFirst
- Clivage, amincissement et montage de fils
- MBE - Hitachi 4700FE & JEOL 6400FE
- AFM – Pacific Nanotechnology
- Ellipsomètre VASE - Variable angle spectroscopic ellipsometry – Woollam
- Mesures de stress – Tencor
- Système de collage de dispositifs semi--automatique – Laurier M9
